多孔質クリーニング真空吸着チャック

产品编号 : JF057

产品类别：多孔質真空チャック部品

发布日期：2023/12/21 14:07:47

  多孔質セラミック真空チャックの特徴 

1. 多孔質セラミックスは、高温で焼結された、材料内部の孔径が均一に分布されている多孔質のセラミック材料である。

2. 多孔質セラミック真空チャックは化学的安定性に優れており、材料の選択とプロセス制御により、さまざまな腐食環境に適する。

3. 優れた機械的強度と剛性を備えており、空圧、油圧、その他の応力負荷下でも微細孔の形状とサイズは変化しない。

4.多孔質セラミックの良好な耐熱性は、溶融鋼や高温ガスをフィルタリングすることができる。

5.気孔が均一に分布されており、0.05～600μmの範囲で任意の気孔径を有する多孔質セラミックス製品を製造することができる。

  多孔質セラミック真空チャックの利点 

1.構造が緻密で均一で、微細孔セラミック材料を採用しており、シリコン粉の摩耗屑を吸着しにくく、チャックが清掃されやすい。

2.高強度、研削時に変形しない。シリコン片が研削時に各点に均等な力を受けることを保証し、崩れや破片などの現象が起こりにくい。

3.長寿命、表面形状の保持性が良い。メンテナンスサイクルが長く、メンテナンスの量が小さいため、寿命が非常に高い。

4.メンテナンスしやすい。メンテナンス時に破裂、破片、脱粒などの現象が起こらない。

5.軽量化。内部構造は気孔で、比重係数が1.6-2.8である。

6.高絶縁性。絶縁性材料で、静電気を除去する。